硅片甩干机的组成部分和应用领域有哪些

2023-05-24

硅片甩干机是半导体行业中常用的工艺设备,主要用于将半导体材料制成的硅片经过清洗后,使用高速离心旋转甩去表面水分和氧化层。


硅片甩干机的主要部件包括离心机和处理室。离心机采用高速离心方式,通过高速旋转,产生离心力使硅片甩干;而处理室则起到对硅片的保护作用,防止硅片在甩干的过程中受到损坏。


硅片甩干机广泛应用于半导体制造、太阳能电池等领域,可以快速、有效地去除硅片表面的水分和氧化层,并在不影响硅片质量的情况下提高生产效率。


分享