概述：主要由两只石英加热缸，两套温度控制系统（石英缸数量可根据客户要求而定），两只快速喷淋排水槽(QDR)，两套喷淋控制系统，一只氢氟酸槽，一只一阶溢流槽，一只三阶溢流槽，两套吸酸排放器等构成。
技术特点

最大可清洗片子尺寸：Φ300mm。
槽体数量可根据用户工艺要求配置。
清洗槽最高加热温度可达200℃。
快速排放冲洗槽排放，冲洗次数可设置。

槽体结构可选单片盒，或双片盒结构。
槽内传输有手动、自动方式可选。

可选配液体循环系统。

具有故障提示，报警等功能。
主要技术指标

□ 去离子水压力：0.25~0.3Mpa
□ 排水口：Φ60mm
□ 酸液排放口：1/2″PFA管
□ 氮气压力：0.25~0.3MPa
□ 氮气接口管径：3/8″PE管
□ 压缩空气压力：0.25~0.3 Mpa
□ 压缩空气接口：3/8″PE管
□ 电源：AC380V±AC38V (三相五线)